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蒸着ガス
六フッ化タングステン (WF6)

六フッ化タングステン(WF6)

WF6は半導体の製造工程でメタルコンタクトとゲートを形成する用途に使用されます。

SPECIFICATION

Unit : ppbw(metal), ppmv(gas)
SPECIFICATION (표)입니다. 이 표는 WF6, K, U, Th, Cr, Fe, Na, Mo, Al, Cu, Mg, Ni, Ca, Co, Zn, Mn, Pb로 구성되어 있습니다.
WF6 K U Th Cr Fe Na Mo Al Cu Mg Ni Ca Co Zn Mn Pb
99.9995% 10 0.1 0.1 10 10 10 25 10 10 10 15 10 10 10 10 10
SPECIFICATION (표)입니다. 이 표는 WF6, O2+Ar, N2, HF, CO, CO2, SiF4, SF6, CF4로 구성되어 있습니다.
WF6 O2+Ar N2 HF CO CO2 SiF4 SF6 CF4
99.9995% 1.0 1.0 1.0ppmw 1.0 1.0 1.0 1.0 1.0
SPECIFICATION (표)입니다. 이 표는 WF6, SPECIFICATIO로 구성되어 있습니다.
WF6 99.9995%
K 10
U 0.1
Th 0.1
Cr 10
Fe 10
Na 10
Mo 25
Al 10
Cu 10
Mg 10
Ni 10
Ca 15
Zn 10
Mn 10
Pb 10
O2+Ar 1.0
N2 1.0
HF 1.0ppmw
CO 1.0
CO2 1.0
SiF4 1.0
SF6 1.0
CF4 1.0

CYLINDERS INFORMATION

CYLINDERS INFORMATION (표)입니다. 이 표는 TYPE, MATERIAL, FILLING WEIGHT, VALVE CONNECTION TYPE으로 구성되어 있습니다.
TYPE MATERIAL FILLING WEIGHT VALVE CONNECTION TYPE
40L SUS 316L 50~100 kg JIS-22-14R,
CGA/DISS638 etc.
20L 25~50 kg
10L 12.5~25 kg

CYLINDERS INFORMATION

CYLINDERS INFORMATION (표)입니다. 이 표는 CYLINDERS INFORMATION, MATERIAL, FILLING WEIGHT, VALVE CONNECTION TYPE으로 구성되어 있습니다.
TYPE 40L
MATERIAL SUS 316L
FILLING WEIGHT 50~100 kg
VALVE CONNECTION TYPE JIS-22-14R, CGA/DISS638 etc.
CYLINDERS INFORMATION (표)입니다. 이 표는 CYLINDERS INFORMATION, MATERIAL, FILLING WEIGHT, VALVE CONNECTION TYPE으로 구성되어 있습니다.
TYPE 20L
MATERIAL SUS 316L
FILLING WEIGHT 25~50 kg
VALVE CONNECTION TYPE JIS-22-14R, CGA/DISS638 etc.
CYLINDERS INFORMATION (표)입니다. 이 표는 CYLINDERS INFORMATION, MATERIAL, FILLING WEIGHT, VALVE CONNECTION TYPE으로 구성되어 있습니다.
TYPE 10L
MATERIAL SUS 316L
FILLING WEIGHT 12.5~50 kg
VALVE CONNECTION TYPE JIS-22-14R, CGA/DISS638 etc.
사용용도 알아보기 - 웨이퍼 → 제품투입 (웨이퍼, 챔버, 히터) → 공정 진행 자세히 보기 - 반도체 (Dielectric) WF6:Contact - 반도체 제조공정에서 Metal Contact 및 Gate를 형성하는 용도로 사용됩니다. → 제품 반출 → 반도체 (웨이퍼)