세정가스
글로벌 No.1 국내 최초, 세계 최고의 삼불화질소 생산
2001년 삼불화질소(NF3) 국내 최초 첫 국산화에 성공하면서 독자적 기술개발과
선제적 증설 투자를 통해 고객에게 최고 품질의 삼불화질소를 안정적으로 공급하고 있습니다.
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삼불화질소NF3
NF3는 반도체, 디스플레이 및 태양전지의 제조공정에서 사용되며, CVD 공정 후 Chamber 내부 잔류물을 제거하기 위한 Cleaning 용도로 사용됩니다.