모노클로로실란 (SiH3Cl)
SiH3Cl(MCS)는 반도체 및 디스플레이 공정용으로 사용되는 Precursor의 원재료입니다.
SPECIFICATION
Unit : %
SPECIFICATION (표)입니다. 이 표는 SiH3Cl, N2, SiH4, SiH2Cl2, SiHCl3, SiCl4, HCl로 구성되어 있습니다.
| SiH3Cl |
N2 |
SiH4 |
SiH2Cl2 |
SiHCl3 |
SiCl4 |
HCl |
| 98.0 |
0.1 |
1.5 |
0.1 |
0.1 |
0.1 |
0.1 |
SPECIFICATION (표)입니다. 이 표는 SiH3Cl, N2, SiH4, SiH2Cl2, SiHCl3, SiCl4, HCl로 구성되어 있습니다.
| SiH3Cl |
98.0 |
| N2 |
0.1 |
| SiH4 |
1.5 |
| SiH2Cl2 |
0.1 |
| SiHCl3 |
0.1 |
| SiCl4 |
0.1 |
| HCl |
0.1 |
CYLINDERS INFORMATION
CYLINDERS INFORMATION (표)입니다. 이 표는 TYPE, MATERIAL, FILLING WEIGHT, VALVE CONNECTION TYPE로 구성되어 있습니다.
| TYPE |
MATERIAL |
FILLING WEIGHT |
VALVE CONNECTION TYPE |
| 47L |
Mn Steel, Cr-Mo Steel |
26 kg |
CGA/DISS636 etc. |
CYLINDERS INFORMATION (표)입니다. 이 표는 TYPE, MATERIAL, FILLING WEIGHT, VALVE CONNECTION TYPE로 구성되어 있습니다.
| TYPE |
47L |
| MATERIAL |
Mn Steel, Cr-Mo Steel |
| FILLING WEIGHT |
26 kg |
| VALVE CONNECTION TYPE |
CGA/DISS636 etc. |