국내 최대 반도체용 특수가스 제조업체 OCI머티리얼즈가 '세미콘코리아 2016'에서 반도체 및 디스플레이 공정의 핵심 제품인 모노실란과 더불어 삼불화질소를 선보였다.

OCI머티리얼즈는 지난 28일 서울 삼성동 코엑스에서 열린 '세미콘 코리아 2016'에서 모노실란(SiH4)과 생산규모 1위 삼불화질소(NF3)를 전면에 내세웠다. 모노실란은 실란제품 3종 중 성능 대비 가격이 저렴해 반도체 및 디스플레이 공정에 가장 많이 쓰인다.

모노실란, 디크로실란(SiH2Cl2), 디실란(Si2H6) 등 실란제품은 주로 특수 공정인 고도의 하이테크 반도체 제품에서 전기가 통하지 않게 차단하는 절연막에 사용되는 가스이다. 이와 함께 반도체와 액정표시장치(LCD) 및 태양전지 제조과정 중 불순물이 생기지 않게 돕는 삼불화질소와 배선공정에 사용되는 육불화텅스텐(WF6)도 함께 전시됐다. 삼불화질소는 연간 매출 3000억원 규모의 OCI머티리얼즈 제품 중에서 거의 절반 이상을 차지하고 있다. 일본과 중국 등 해외시장에 판로를 확보하고 있다. OCI머티리얼즈 관계자는 "삼불화질소는 가스 제품으로 투자비가 많이 들어가고 폭발성에 대한 안정성이 중요하다"며 "진입장벽이 높다"고 설명했다.

OCI머티리얼즈는 이 제품을 SK하이닉스 등 주요 거래처의 주요 공정에 제공하고 있다. 얼마전에는 SK그룹이 OCI머티리얼즈를 전격 인수하면서 특수가스 분야 글로벌 메이커로 부상했다. OCI머티리얼즈는 경북 영주시에 연산 6500톤급 공장과 중국 진강시에 1000톤급 공장 등 총 7500톤의 생산능력을 갖추고, 세계 40% 가량의 시장점유율을 보유하고 있다. 회사 관계자는 "SK의 인수로 시너지 효과가 분명히 있다"며 "SK하이닉스의 성장성도 높고 메이저 고객사를 가족사로 두고 있으며 기술 개발에 있어 기술적 로드맵이 형성돼 향후 시너지 효과가 크다"고 밝혔다.