전구체

차세대 공정용 신규 특화소재에 대한 지속적인 연구개발을 바탕으로 DRAM 전하저장 및
미세회로 구현을 위한 최적의 솔루션이 되는 전구체(프리커서)를 생산·판매합니다.

Zr-프리커서, Si-프리커서, Ti-프리커서 등 최고 품질의 차세대 소재를 개발하고 있습니다. 특수가스 글로벌 No.1 SK머티리얼즈가 반도체 소재 시장에서 쌓아온 신뢰와 고객대응력을 바탕으로 일본 Tri chemical Laboratories의
프리커서 기술력 집약을 통해 향후 미래 주요 성장 동력으로서의 역할을 충실히 해 나갈 것입니다.

전구체는 반도체 공정 중 반응기 내에 여러 종류의 반응기체를 유입시켜 화학반응을 진행함으로써 원하는 물질의 박막을 웨이퍼 상에 증착하는데 사용됩니다. 반도체 미세화 및 적층구조의 증가로 그 수요 성장이 기대됩니다.

  • Zr-프리커서

    반도체 DRAM의 Capacitor 제조 공정에서 사용 되며, ALD 공정을 통한 ZrO2 박막 증착의 용도로 사용됩니다.

  • Si-프리커서

    반도체 DRAM과 3D-NAND 제조 공정에서 사용 되며, CVD/ALD 공정을 통한 SiO2 박막 증착의 용도로 사용됩니다.

  • Ti-프리커서

    반도체 DRAM의 Capacitor 제조 공정에서 사용 되며, ALD 공정을 통한 TiO2 박막 증착의 용도로 사용됩니다.

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